CNC拋光機和大多數(shù)拋光機一樣是由底座、拋光轉臺、拋光滾臺、拋光磨削頭、拋光罩及蓋等基本元件組成的。拋光磨頭固定在底座上，固定拋光盤用的錐套通過螺釘與電動機軸相連。拋光織物通過套圈緊固在拋光盤上，電動機通過底座上的開關接通電源起動后，便可用手對試樣施加壓力在轉動的拋光盤上進行拋光。

拋光過程中加入的拋光液可通過固定在底座上的塑料盤中的排水管流入置于拋光機旁的方盤內。

拋光罩及蓋可防止灰土及其他雜物在機器不使用時落在不銹鋼封頭、罐體等拋光工件上而影響使用效果。

CNC拋光機設備操作的關鍵是要設法得到大的拋光速率，以便盡快除去磨光時產生的損傷層。同時也要使拋光損傷層不會影響觀察到的組織，即不會造成假組織。前者要求使用較粗的磨料，以保證有較大的拋光速率來去除磨光的損傷層，但拋光損傷層也較深；后者要求使用最細的材料，使拋光損傷層較淺，但拋光速率低。